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微細(xì)加工技術(shù)雜志

微細(xì)加工技術(shù)雜志統(tǒng)計(jì)源期刊

Microfabrication Technology

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  • 雙月刊 出版周期
  • 43-1140/TN CN
  • 1003-8213 ISSN
主管單位:信息產(chǎn)業(yè)部
主辦單位:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第48研究所
創(chuàng)刊時(shí)間:1983
開(kāi)本:A4
出版地:湖南
語(yǔ)種:中文
審稿周期:3-6個(gè)月
類別:電子
被引次數(shù):
數(shù)據(jù)庫(kù)收錄:

知網(wǎng)收錄(中)維普收錄(中)、萬(wàn)方收錄(中)、EI 工程索引(美)、國(guó)家圖書(shū)館館藏、上海圖書(shū)館館藏

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微細(xì)加工技術(shù)雜志簡(jiǎn)介

《微細(xì)加工技術(shù)》雜志創(chuàng)刊于1983年,是國(guó)家科委和國(guó)家新聞出版署批準(zhǔn),國(guó)內(nèi)外公開(kāi)發(fā)行的中央級(jí)重要科技期刊。

微細(xì)加工技術(shù)雜志欄目設(shè)置

本刊綜述、電子束技術(shù)、離子束技術(shù)、光子束技術(shù)、薄膜技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)、納米技術(shù)。

微細(xì)加工技術(shù)雜志榮譽(yù)信息

微細(xì)加工技術(shù)雜志訂閱方式

地址:長(zhǎng)沙市第96號(hào)信箱301分箱(長(zhǎng)沙黑石鋪),郵編:410111。

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(三)作者與單位文稿作者署名人數(shù)一般不超過(guò)5人,作者單位不超過(guò)3個(gè)。第一作者須附簡(jiǎn)介,包括工作單位、地址、郵編、年齡、性別、民族、學(xué)歷、職稱、職務(wù);其它作者附作者單位、地址和郵編。

(四)摘要和關(guān)鍵詞所有論文均要求有中文摘要和關(guān)鍵詞,摘要用第三人稱撰寫(xiě),分目的、方法、結(jié)果及結(jié)論四部分,完整準(zhǔn)確概括文章的實(shí)質(zhì)性內(nèi)容,以150字左右為宜,關(guān)鍵詞一般3~6個(gè)。

(五)標(biāo)題層次一級(jí)標(biāo)題用“一、二、……”來(lái)標(biāo)識(shí),二級(jí)標(biāo)題用“(一)、(二)、……”來(lái)標(biāo)識(shí),三級(jí)標(biāo)題用“1.2.”來(lái)標(biāo)識(shí),四級(jí)標(biāo)題用“(1)、(2)”來(lái)標(biāo)識(shí)。一般不宜超過(guò)4層。標(biāo)題行和每段正文首行均空二格。各級(jí)標(biāo)題末尾均不加標(biāo)點(diǎn)。

(六)計(jì)量單位、數(shù)字、符號(hào)文稿必須使用法定的計(jì)量單位符號(hào)。

(七)參考文獻(xiàn)

限為作者親自閱讀、公開(kāi)發(fā)表過(guò)的文獻(xiàn),只選主要的列入,采用順序編碼制著錄,按其文中出現(xiàn)的先后順序用阿拉伯?dāng)?shù)字編號(hào),列于文末,并依次將各編號(hào)外加方括號(hào)置于文中引用處的右上角。書(shū)寫(xiě)格式為:作者.文題.刊名年份;年(期):起始頁(yè).網(wǎng)上參考材料序號(hào).作者.文題網(wǎng)址(至子--欄目).上傳年月。

為保證本刊的權(quán)威性,杜絕任何形式的抄襲稿。稿件文責(zé)由作者自負(fù),編輯部有權(quán)作必要的修改。文稿在3個(gè)月內(nèi)未收到退修或錄用通知,作者可自行處理,另投他刊。未被錄用的稿件一般不退稿,請(qǐng)自留底稿。

微細(xì)加工技術(shù)雜志范例

0.1微米電子束曝光機(jī)成像系統(tǒng)的計(jì)算

激光直寫(xiě)系統(tǒng)制作掩模和器件的工藝

LIGA技術(shù)制作Fresnel波帶片的研究

金屬型場(chǎng)發(fā)射陣列的研究

一種微摩擦力光學(xué)測(cè)試方法

SU-8環(huán)氧樹(shù)脂的分離實(shí)驗(yàn)研究

利用等離子體表面預(yù)處理改善光掩模IP膠顯影工藝特性

多層薄膜微結(jié)構(gòu)熱應(yīng)力計(jì)算

脈沖電鍍制備硅基細(xì)晶鎳鐵合金薄膜

PECVD法制備的ZnO薄膜結(jié)晶性能的影響

采用氨化技術(shù)制備成簇生長(zhǎng)的光滑線狀氮化鎵

痕量爆炸物爆燃探測(cè)敏感元件的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

新型壓電微噴的研制

硅柵干法刻蝕工藝中腔室表面附著物研究

MEMS微電磁驅(qū)動(dòng)器磨損對(duì)光開(kāi)關(guān)性能的影響分析

微細(xì)加工技術(shù)雜志發(fā)文分析

主要資助課題分析

資助課題 涉及文獻(xiàn)
國(guó)家自然科學(xué)基金(90307003) 13
山東省自然科學(xué)基金(Y2003G03) 12
國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(2003CB716204) 7
國(guó)家自然科學(xué)基金(59671051) 7
山東省科技攻關(guān)計(jì)劃(022090105) 7
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2004AA404260) 5
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404150) 4
國(guó)家自然科學(xué)基金(10572078) 4
國(guó)家自然科學(xué)基金(50275140) 4
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(2003AA404140) 3

主要資助項(xiàng)目分析

資助項(xiàng)目 涉及文獻(xiàn)
國(guó)家自然科學(xué)基金 256
國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃 65
國(guó)家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃 54
國(guó)家教育部博士點(diǎn)基金 17
國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金 15
山東省自然科學(xué)基金 13
中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程 11
中國(guó)博士后科學(xué)基金 10
上海市自然科學(xué)基金 8
中國(guó)科學(xué)院知識(shí)創(chuàng)新工程重要方向項(xiàng)目 8
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